蓋世汽車訊 據外媒報道，德國弗勞恩霍夫光子微系統研究所（Fraunhofer IPMS）開發出光子微系統，可以使用可控的小鏡子來調制光，從而產生獨特的圖像和結構。這些空間光調制器（SLM）是在半導體芯片上具有多達數百萬個鏡子的微鏡陣列，可應用于半導體制造、顯微鏡和全息攝影等領域。
陶瓷封裝的微鏡陣列；512x320可單獨尋址鏡，像素尺寸為48μm。（圖片來源：弗勞恩霍夫光子微系統研究所）
在實驗室和1500平方米的潔凈室中，該團隊開發了一系列基于200 mm晶圓技術的特定用途空間光調制器。為了讓每個微鏡能夠單獨偏轉，研究人員以高度集成的電子電路（ASIC）為基礎來構建組件體系結構，再結合單片集成MEMS（微電子機械系統）技術，從而可以創建獨特的微鏡陣列。
此外，Fraunhofer IPMS還開發可以驅動該設備的電子器件和軟件。為了促進技術應用，該研究所向客戶提供評估工具包。除了微鏡芯片本身，準備試用的設置還包括完整的電子控制器件（含軟件在內）。
該Fraunhofer IPMS空間光調制器可用于深紫外微光刻、印刷電路板（PCB）制造、半導體檢測和計量、自適應光學、天文學、全息和顯微鏡技術。該研究所已獲得ISO 9001認證，從而驗證其質量、技術和性能。
來源：蓋世汽車
作者：Elisha
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