蓋世汽車訊 據外媒報道，泛林集團（Lam Research）首次推出生產型脈沖激光沉積（PLD）工具，以實現新一代基于微機電系統（MEMS）的麥克風和射頻（RF）濾波器。Lam的Pulsus?可編程邏輯器件系統（Pulsus? PLD system）可提供目前具有最高鈧含量的氮化鋁鈧（AlScN）薄膜，為實現具有增強性能、容量和功能的先進消費和汽車設備鋪平了道路。Pulsus現已面向部分專用設備制造商發貨。
（圖片來源：泛林集團）
Lam將Pulsus PLD加入產品組合，進一步擴展了其聚焦專業技術的沉積、蝕刻和單晶圓清潔產品的綜合范圍，以及該公司在這一領域的持續創新。
泛林集團副總裁兼客戶支持業務集團總經理Chris Carter表示：“憑借在特種半導體技術方面深厚的專業知識、在沉積領域經過驗證的能力，以及與法國原子能委員會電子與信息技術實驗室（CEA-Leti）的戰略合作，本公司在經過生產驗證的2300?平臺上為客戶帶來了這一變革性解決方案。這種新沉積技術有助于推進設備設計，加速特種市場的產品路線圖發展。”
通過先進薄膜驅動高性能設備
來源：第一電動網
作者：蓋世汽車
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